Nguyên lý và đặc điểm vận hành của máy nén khí chuyên dụng cho bán dẫn

Nguyên lý

Máy nén khí lấy không khí làm nguyên liệu, thường có hai kiểu nạp khí: nạp tập trung trong nhà và ngoài nhà. Nạp khí tập trung ngoài nhà không bị ảnh hưởng bởi dầu/khí trong xưởng, giảm tác động đến không khí trong nhà, thuận lợi cho tiền lọc tập trung; tuy đầu tư ban đầu lớn hơn và có tổn thất trở lực khi vận chuyển, nhưng giúp giảm công suất tiêu thụ và kéo dài tuổi thọ lõi lọc.

Đặc điểm hiệu suất

Dù là nén một cấp hay nhiều cấp, hiệu suất vận hành đều chịu ảnh hưởng của nhiệt độ giữa các cấp và nhiệt độ khí xả. Một trong những tác dụng của bộ làm mát là nâng cao hiệu suất nén và giảm công suất tiêu thụ: thông thường nhiệt độ khí xả giảm 10°C thì công suất giảm khoảng 3%.

Việc kiểm soát nhiệt độ chủ yếu vào mùa nóng — cần kiểm tra, bảo dưỡng toàn diện hệ thống làm mát, bổ sung dầu bôi trơn, vệ sinh/thay bộ làm mát để giữ nhiệt độ trong ngưỡng yêu cầu, ổn định vận hành và đảm bảo chất lượng khí sạch cho quy trình bán dẫn.