Máy nén khí không dầu răng xoắn tiếp sức chế tạo bán dẫn: thực tiễn đổi mới của REVOS (Phần 2)

Giải pháp tùy chỉnh cho yêu cầu khắt khe của bán dẫn

Với các kịch bản đặc thù của chế tạo bán dẫn, REVOS đưa ra giải pháp tích hợp mô-đun. Ví dụ dòng MID tích hợp đầu nén không dầu răng xoắn với máy sấy hiệu quả cao, đồng thời thực hiện nén – lọc – sấy, cho khí siêu sạch đạt chuẩn ISO 8573-1 Class 0. Trong các công đoạn then chốt như quang khắc, lắng màng mỏng, thiết bị kiểm soát chính xác độ ổn định áp suất, đảm bảo độ chính xác công nghệ cấp nano. Thiết bị dùng thiết kế kín hoàn toàn và kết cấu rung động thấp, giảm hiệu quả phát sinh hạt trong môi trường sản xuất, đáp ứng tiêu chuẩn nghiêm ngặt của phòng sạch.

Chuyên sâu trong ngành: nâng cấp từ công nghệ đến dịch vụ

Từ khi thành lập năm 2016, REVOS luôn tập trung R&D đổi mới trong lĩnh vực máy nén không dầu. Qua hợp tác sâu với nhiều doanh nghiệp bán dẫn, sản phẩm đã ứng dụng thành công vào chế tạo wafer, kiểm tra đóng gói. Ví dụ: một doanh nghiệp đầu ngành sau khi dùng máy nén không dầu răng xoắn REVOS đã giảm 70% tỷ lệ sự cố liên quan nguồn khí, kéo dài chu kỳ bảo dưỡng lên 12 tháng, giảm 25% chi phí vận hành tổng hợp. Dịch vụ giám sát từ xa và bảo trì dự đoán giúp theo dõi trạng thái thiết bị theo thời gian thực, cảnh báo sớm sự cố tiềm ẩn.