Máy tạo nitơ cho ngành bán dẫn LUGAS cung cấp nitơ tinh khiết cao ngay tại nhà máy bằng công nghệ PSA, bảo vệ vật liệu và thiết bị bán dẫn khỏi oxy hóa và nhiễm bẩn trong suốt quá trình sản xuất.
| Lưu lượng nitơ | 1-5000Nm³/h |
| Độ tinh khiết nitơ | 95%-99.9999% |
| Áp suất nitơ | 0.1-1.6MPa(Adjustable) |
| Điểm sương | 0~-60℃ |
Sản xuất chip, đóng gói bán dẫn, phòng sạch và các dây chuyền điện tử chính xác.





📄 Tải catalog kỹ thuật Máy tạo nitơ cho ngành bán dẫn LUGAS (PDF)















