Đặc điểm điều chỉnh vận hành của máy nén khí chuyên dụng cho bán dẫn

Máy nén khí chuyên dụng cho bán dẫn thường được thiết kế/chọn theo điều kiện tải lớn nhất và có dự phòng một mức nhất định. Trong thực tế, do tải phía sử dụng liên tục thay đổi nên phải điều chỉnh lượng khí cấp tương ứng. Phương thức điều khiển phổ biến là tải/không tải (load/unload), phù hợp cho công đoạn dùng khí liên tục nhưng lưu lượng máy không khớp nhu cầu, giúp tránh khởi động – dừng máy thường xuyên.

Ba trạng thái vận hành ở chế độ tải/không tải

1. Khi lượng cấp ≤ lượng dùng: áp đầu ra thấp hơn ngưỡng công tắc áp, máy chạy đầy tải. 2. Khi lượng cấp > lượng dùng: áp đầu ra vượt ngưỡng trên, đóng van cửa nạp, chuyển sang không tải. 3. Khi chạy không tải lâu, áp giảm dần xuống dưới ngưỡng dưới thì mở van cửa nạp, chuyển lại có tải.

Việc chạy ngắt quãng giữa ba trạng thái vừa lãng phí năng lượng vừa ảnh hưởng chất lượng cấp khí — đây là lý do nên cân nhắc điều khiển biến tần.