Máy nén khí không dầu răng xoắn tiếp sức chế tạo bán dẫn: thực tiễn đổi mới của REVOS (Phần 1)

Trong ngành bán dẫn, yêu cầu về chất lượng khí nén đạt mức khắt khe. Từ gia công wafer đến đóng gói chip, mỗi công đoạn đều phải thực hiện trong môi trường siêu sạch, không dầu, không bụi. Là đơn vị tiên phong công nghệ trong lĩnh vực máy thủy khí, REVOS cung cấp giải pháp nguồn khí hiệu quả, sạch cho chế tạo bán dẫn nhờ máy nén khí không dầu răng xoắn tự nghiên cứu.

Đột phá kỹ thuật: ưu điểm cốt lõi

Máy nén không dầu răng xoắn REVOS dùng công nghệ hai rotor quay đồng bộ, ăn khớp chính xác giữa rotor đực – cái để nén khí. Khác với máy bôi trơn truyền thống, thiết kế không dầu loại bỏ hoàn toàn việc dùng dầu, ngăn ô nhiễm dầu từ gốc. Đặc tính này đặc biệt quan trọng với bán dẫn — nếu phân tử dầu trong khí nén bám lên bề mặt chip sẽ ảnh hưởng trực tiếp hiệu năng và độ tin cậy của linh kiện điện tử. Ngoài ra, hệ làm mát hiệu quả và hệ điều khiển thông minh đảm bảo vận hành ổn định khi chạy tải cao lâu dài, giảm tiêu hao trên 15%, nâng cao hiệu suất sản xuất.